(1)伺服行星減速機(jī)電機(jī)清潔：外部清潔；除塵等內(nèi)部清潔；清潔電機(jī)、清潔散熱器件；清除銹跡等。
(2)伺服行星減速機(jī)器件保養(yǎng)：檢查磨損程度；按要求加潤(rùn)滑劑；調(diào)整和緊固松動(dòng)移位的部件；更換到期的易損件等。
(3)整體性能檢測(cè)：外圍的易損器件的檢查和保養(yǎng)；儀表和指示燈是否正常；功能和技術(shù)指標(biāo)是否正常；傳感器、氧電池校正；安全閥檢查；管道順應(yīng)性檢測(cè)。
(4)輔助設(shè)施的保養(yǎng)：穩(wěn)壓電源的檢查；蓄電池的檢查，更換到期的干電池；環(huán)境溫度和濕度檢查；接地檢查；是否有陽(yáng)光直射；有無腐蝕性氣體和液體及易嫩易爆物品。
(5)高危部件的檢查：檢查高溫、高壓力和高電壓器械是否符合使用條件，是否有老化現(xiàn)象，是否有異常氣味和異常聲音，絕緣是否符合要求。
(6)排水：由于減速機(jī)長(zhǎng)期使用高壓氣體，應(yīng)特別注意空氧混合器的積水的及時(shí)排掉。
(7)消耗品更換：對(duì)已經(jīng)或即將到使用壽命的消耗品進(jìn)行更換，如氧電池、傳感器、閥片、活瓣、細(xì)菌過濾器。
(8)特殊保養(yǎng)：按器械的操作手冊(cè)要求進(jìn)行。